扫描电子显微镜的工作原理

扫描电子显微镜的工作原理

扫描电子显微镜的工作原理：

扫描电子档好显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。

扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束罗位套数干报良自元财在试样上扫描，激发质象裂两出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散来自射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外橡脊光区域产生的电磁阳百车季互实过合面纪辐射。同时可产生电子-360问答空穴对、晶格振动（声路谈概并械树子)、电子振荡（等离子体）。

扩展资料：

研发历程：

1873Abbe和Helmholfz分别提出解像力与照射光梁蠢渗的波长成反比。奠定了显微镜的理论基础。

1931德国物营些歌止良括正呼草程刑理学家Knoll及Ruska首先发展出穿透式电子显微镜原型机。

1938第一部扫描电子显微镜由VonArdenne弱外苦调我方践通发展成功。

1959年第一台100KV电子显微镜1975年第一台扫描电子事司加显微镜DX3在中国科学院科学仪器厂（现北京中科科仪技术发展有限责任公司）研发成功。

参考资料来源：百度百科——扫描电子显微镜